C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか？」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが，インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して，マニュアルでのシナリオもサポートできる。

スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか？」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが，インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して，マニュアルでのシナリオもサポートできる。

ESDによる製品，レチクル，装置の損傷を低減する。

SEMI F40-0699 (first published)

来源于较低质量等级助熔剂的杂质元素或碳会影响分析数据的准确性，建议使用高纯度助熔剂。

This Standard covers 300 mm equipment only

C00327 - SEMI C3.27 - 三フッ化ホウ素（BF3），シリンダ充填， 99.0%品質の仕様 Revision:SEMI C3.27-1102 (Reapproved 1011) - Superseded スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか？」といった質問に対する答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。その時点でのあるいは将来の制約および目標に対する評価を基にした答になる場合もある。ディスパッチャのアウトプットはターゲットリソースの次の活動に関する決定という形をとるが，インタフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して，マニュアルでのシナリオもサポートできる。global Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org1984200211 : (Si2H6) Referenced SEMI Standards SEMI C1 Specifications for Reagents SEMI C3 Specifications for Gases