E04000 - SEMI E40 - Specification for Processing Management Revision:SEMI E40-96 - Superseded 自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。自動搬送用は125 mmウェーハサイズを対象としている。

自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。自動搬送用は125 mmウェーハサイズを対象としている。

本試験方法の目的は，ダイ剪断強度試験用の手順を決定することである。

This test is intended to show the effect of corrosion caused when a corrosive gas such as HCl is contaminated by an oxidizer such as atmospheric moisture

SEMI M38-0306 (technical revision)

This Document provides particle specification for gases

E04000 - SEMI E40 - Specification for Processing Management Revision:SEMI E40-96 - Superseded 自動搬送用は，ウェーハキャリアと自動ウェーハプロセス装置のインタフェースの使用上の要求事項を満たすものである。自動搬送用は125 mmウェーハサイズを対象としている。* This Standard has the option to purchase the Current document with a redline document (Current + Redline). The redline document is included with the Current document as a comparison tool to help identify changes that have been made between the Current version and the previous version (Superseded). If differences should exist between the redline document and the Current document, the Current version is the official and authoritative version. 1