F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計（APIMS）の較正のためのテスト方法 Revision:SEMI F33-0708 - Inactive 1-0211 — 基板マッピング用のXMLスキーマ

1-0211 — 基板マッピング用のXMLスキーマ

This Test Method is especially useful for determining the surface metal areal densities in the native oxide or chemically grown oxide of polished silicon substrates after cleaning

SEMI E129-0912 (technical revision)

there may be benefits of using the message header elements specified here even in synchronous interactions

この仕様では，ウェーハIDリーダによって送信される非同期メッセージは要件でもなく，定義することも禁止することもしない。

F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計（APIMS）の較正のためのテスト方法 Revision:SEMI F33-0708 - Inactive 1-0211 — 基板マッピング用のXMLスキーマNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Gases Committee2008513global Audits and Reviews Subcommittee20086www. semi. org NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive