F01300 - SEMI F13 - Guide for Gas Source Control Equipment Revision:SEMI F13-1101 - Inactive 本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。

本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。

The scope of this Document covers grades of 1

SEMI P44-0316 (technical revision)

and thickness of the gold plating shall be specified per MIL-G-45204 unless otherwise agreed between vendor and customer

SEMI E66 — Test Method for Determining Particle Contribution by Mass Flow Controllers

F01300 - SEMI F13 - Guide for Gas Source Control Equipment Revision:SEMI F13-1101 - Inactive 本スタンダードでは，半導体製造装置においてSEMIが指定するデバイスモデル（共通およびデバイス固有）に従って動作するセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）上のインテリジェントなデバイス間の通信を可能にするためのEtherNet/IP （Ethernet/Industrial Protocol）ネットワークに基づいた通信仕様を定義する。This guide was technically approved by the global Facilities Committee and is the direct responsibility of the North American Facilities Committee. Current edition approved by the North American Regional Standards Committee on August 27, 2001. Initially available at www. semi. org September 2001; to be published November 2001. Originally published in 1993. The purpose of this document is to provide a guide for the design and operational requirements