F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 • Equipment recipe components and

• Equipment recipe components and recipe steps contained in the recipe components as they apply to process modules

包装材料や輸送材料

装置設計に適用される静電気の制御方法は，半導体製造施設内の静電気に関連するすべての問題を解決するものではない。施設内の製品またはレチクルの輸送は静電気の影響を受け，静電気問題の原因となる。製造施設内で動き回る人も静電気の発生源となる。これらの施設の問題はSEMI E129で述べている。

— 以下の話題は本仕様の範囲を超えるものである。その件については別の仕様で示されるかもしれないが，将来的に本仕様の追加事項とする事は想定しない。

1-0306 (technical revision)

F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 • Equipment recipe components andReferenced SEMI Standards SEMI E49 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components