E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP） StdPbc-0823 本法で定義するチューブは，フッ素樹脂製でかつ，円形断面を呈するものであること。

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E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP） StdPbc-0823 本法で定義するチューブは，フッ素樹脂製でかつ，円形断面を呈するものであること。, global Information & Control Committee global Audits and Reviews Subcommitteewww. semiviews. orgwww. semi. org > SEMI E139SEMI E139. 3 Factory Information & Control System: FICS 6: FICS FICS SEMISEMI E40 FICS FICS 77. 13 Subordinate Documents: SEMI E139. 1 0310 XML Schema for the RaP PDE SEMI E139. 2 1108 SECS II Protocol for Recipe and Parameter Management (RaP) SEMI E139. 3 1211 XML SOAP Binding for Recipe and Parameter Management Referenced SEMI