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Electronic Design Market Data (EDMD) - Subscription Edition StdPbc-0619 本書は8 × 105 Pa （8気圧）以下の圧力下で特殊ガスシステムから供給される引火性ガスにのみ適用する。この方法は8

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本書は8 × 105 Pa （8気圧）以下の圧力下で特殊ガスシステムから供給される引火性ガスにのみ適用する。この方法は8 × 105 Pa （8気圧）以上の圧力で高圧シリンダから直接サンプリングを行う場合には適していない。本書は下記に示すガスにのみ適用される。

SEMI S5 — Safety Guideline for Flow Limiting Devices

1-0819 (technical revision)

SEMI MF1810-97 (Reapproved 2002) (first SEMI publication)

SEMI F15-93 (Reapproved 0699)

Electronic Design Market Data (EDMD) - Subscription Edition StdPbc-0619 本書は8 × 105 Pa （8気圧）以下の圧力下で特殊ガスシステムから供給される引火性ガスにのみ適用する。この方法は8

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