E11700 - SEMI E117 - Specification for Reticle Load Port Revision:SEMI E117-1104 (Reapproved 0816) - Superseded 本試験方法は，global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されている。現版は2005年11月29日，global Audits

本試験方法は，global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されている。現版は2005年11月29日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2006年1月にwww

35-89 (technical revision)

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww

as needed to capture the unique data parameters available from each

本方法は，破壊検査である。

E11700 - SEMI E117 - Specification for Reticle Load Port Revision:SEMI E117-1104 (Reapproved 0816) - Superseded 本試験方法は，global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されている。現版は2005年11月29日，global AuditsNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Specification defines dimensional requirements and options of reticle load ports on reticle stockers, lithography exposure equipment, and reticle inspection equipment. It is intended to promote a uniform physical