F03100 - SEMI F31 - Guide for Bulk Chemical Distribution Systems Revision:SEMI F31-0313 - Superseded This edition was approved for

This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on September 12

previously published March 2006

シリンダ・ガス中のパーティクル含有量は，時間と共に変化することが知られている。なぜなら，パーティクルは拡散または沈降によりシリンダ壁面に失われ，またフロー・パルスまたは機械的衝撃によりシリンダ壁面から分離するからである。典型的なガスシリンダの取り扱いを表わす最悪の条件下で，パーティクル濃度を測定することが重要である。この仕様は，上述の要求条件を満たす標準衝撃を記述し，また衝撃直後にパーティクルをカウントする手順を提供する。

but may also be useful in other applications

and qualification methods for liquid chemical blending equipment

F03100 - SEMI F31 - Guide for Bulk Chemical Distribution Systems Revision:SEMI F31-0313 - Superseded This edition was approved forNOTICE: This Standard was completely rewritten in 2024. 1 Purpose 1. 1 This Guide defines components of bulk chemical distribution systems (BCDS) and sets forth basic design elements and optional design features common to BCDS. 2 Scope 2. 1 This Guide applies to BCDS used in semiconductor manufacturing facilities for supplying liquid chemicals to wafer manufacturing processes. Referenced Standards and Documents (purchase separately) SEMI F39 Guide for