M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様 StdTpc-High Purity Piping Systems 等效能源的換算係數

等效能源的換算係數

SEMI F49-0200 (Reapproved 1021)

このスタンダードは，ハードサーフェスフォトマスク用クロムブランクに関する一般的必要項目について述べる。

本法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。

SEMI F15-0308 (technical revision)

M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様 StdTpc-High Purity Piping Systems 等效能源的換算係數global Silicon Wafer Committee201323global Audits and Reviews Subcommittee20134www. semiviews. org www. semi. org20047201110 180 nm130 nm90 nm( R1 1), 65 nm, 45 nm, 32 nm, ( R1 2), 22 nm ( R1 3) crystal originated particlesCOPdenuded zoneDZ Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers SEMI M35 Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated Inspection SEMI M45